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在材料表面處理中采用低溫等離子體，主要包括三類處理裝置：射頻真空等離子體清洗機、DBD等離子體清洗機和滑動弧射流等離子體清洗機。下面為大家介紹這三類等離子體清洗機各自的優(yōu)勢和不足之處。不同類型等離子體清洗機優(yōu)劣勢對比如下：射頻真空等離子體清洗機（真空）射頻（RadioFrequency，RF）低溫等離子體是利用高頻高壓使電極周圍的氣體電離而產(chǎn)生的低溫等離子體。

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為區(qū)別于固體、液體和氣體這三種狀態(tài)，我們稱物質(zhì)的這種狀態(tài)為物質(zhì)的第四態(tài)，又起名叫等離子態(tài)。 特點:等離子態(tài)下的物質(zhì)具有類似于氣態(tài)的性質(zhì)，比如良好的流動性和擴散性。但是，由于等離子清洗機的基本組成粒子是離子和電子，因此它也具有許多區(qū)別于氣態(tài)的性質(zhì)，比如良好的導(dǎo)電性、導(dǎo)熱性。特別的，根據(jù)科學(xué)計算，等離子體的比熱容與溫度成正比，高溫下等離子體的比熱容往往是氣體的數(shù)百倍。用途:等離子體的用途非常廣泛。

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