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1、小技巧、操作簡(jiǎn)單、易維護(hù)。

2、引進(jìn)德國(guó)核心等離子技術(shù)，質(zhì)量有保障。

3、進(jìn)口針閥精密流量控制計(jì)，精度高。

4、316不銹鋼材質(zhì),耐腐蝕，環(huán)保不產(chǎn)生金屬污染。

5、多路工藝反應(yīng)氣體通道，保證產(chǎn)品清洗效果。

6、可以根據(jù)客戶需求定制。

型號(hào)	JL-VMS10
等離子源系統(tǒng)	頻率	13.65MHz 射頻
	功率	500W （連續(xù)可調(diào)，精度為1W）
真空系統(tǒng)	真空腔體	材質(zhì)	石英
		腔體內(nèi)部尺寸	D250250mm（直徑深度)
		腔體容積	10 L
		密封性	軍工級(jí)焊接密封
	泵	真空泵	油泵/干泵
	處理溫度	＜60°C
	流量計(jì)	0-500ml/min
	氣路控制	2路處理氣體氣路，氣體流量可調(diào)
	真空度	10Pa --100Pa
	工藝氣體	Ar、N?、CF?、O?、H?等（可選）
外觀參數(shù)	外形尺寸	720530450mm（寬深高）
	重量	55kg
設(shè)施配置	電力	單相三線制AC220V ,50-60Hz。所有配線符合《低壓配電設(shè)計(jì)規(guī)范 GB50054-95》、《低壓配電裝置及線路設(shè)計(jì)規(guī)范》等國(guó)標(biāo)標(biāo)準(zhǔn)相關(guān)規(guī)定。

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