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技術(shù)知識

等離子體清洗機,PDMS鍵合

發(fā)布時間:2022-04-01 14:26:41 瀏覽數(shù):851

聚二甲基硅氧烷(PDMS)是一種高分子聚合物,由于其具有獨特的延展性,光學特性,絕緣性,耐腐蝕性,生物相容性,制作簡便且低成本等特點,使其成為柔性電子領(lǐng)域的熱門材料之一,然而PDMS表面具有天然疏水性,若表面不經(jīng)過改性處理,無法與同質(zhì)異質(zhì)形成不可逆鍵合。金徠科技等離子鍵合機助您完成微流控芯片的加工過程。為了永久性的把PDMS芯片結(jié)合到玻璃片上,使用等離子清洗機來改變玻璃和PDMS的表面性質(zhì)。等離子體處理將會改變玻璃和PDMS芯片表面的化學物質(zhì)并允許您把帶有微通道的PDMS粘接到其他基底上(PDMS或玻璃)。

微流控PDMS芯片的等離子體處理的方法,不同的處理參數(shù)會影響到PDMS芯片的鍵合強度。良好的鍵合牢固的芯片的耐壓強度可以達到3-5 bars的耐壓值。

PDMS鍵合的主要關(guān)鍵點:材料表面的污染,等離子體清洗機腔室的污染,等離子體的穩(wěn)定性與均勻性,等離子體刻蝕的深度以及熱烘烤工藝。

PDMS鍵合等離子法三個主要參數(shù):射頻功率,改性時間,氧氣流量。

金徠科技的JL-SVM-03型等離子鍵合機,針對PDMS鍵合參數(shù)優(yōu)化。是您理想選擇。詳情請資詢金徠科技有限公司。(本文由金徠科技原創(chuàng),轉(zhuǎn)載請注明出處。)


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