D還是不同等級(jí)的生產(chǎn)環(huán)境，均可以給客戶提供工藝關(guān)聯(lián)的、控制連續(xù)的、可靠的、和可重復(fù)的真空氣體等離子處理系統(tǒng)。

plasmaFPC 系列等離子處理機(jī)器適合于廣泛的等離子清洗、表面活化和粘接力增強(qiáng)應(yīng)用。這些能力可用于半導(dǎo)體封裝工廠，微電子封裝和組裝，也可以用于醫(yī)藥和生命科學(xué)器件的生產(chǎn)。

等離子處理設(shè)備的特點(diǎn)和優(yōu)勢(shì)

帶觸摸屏的PLC控制器提供了直觀圖形界面和實(shí)時(shí)工藝呈現(xiàn)

無(wú)論是直接等離子，還是下游等離子模式，彈性架板結(jié)構(gòu)都可以應(yīng)對(duì)各種不同的樣品載具

13.56 MHz 射頻發(fā)生器有自動(dòng)阻抗調(diào)諧，實(shí)現(xiàn)了良好的工藝再現(xiàn)性

批處理類型，每一個(gè)單元都包含在機(jī)器內(nèi)部，只需要較小的占地面積

專有的軟件控制系統(tǒng)生成工藝和生產(chǎn)數(shù)據(jù)用于統(tǒng)計(jì)制成控制

plasmaFPC系列等離子表面處理機(jī)

批處理等離子&清洗設(shè)備

plasmaFPC系列批處理真空等離子系統(tǒng)提供了小、中、大三種不同真空腔體尺寸的選擇。