等離子清洗機(jī)對玻璃表面的清洗, 除了機(jī)械作用外, 更主要是活性氧的化學(xué)作用, 等離子中激發(fā)態(tài)的Ar*, 使氧分子激發(fā)為激發(fā)態(tài)氧原子高能量電子撞擊氧分子使其分解, 形成激發(fā)態(tài)氧原子沾污的潤滑油與硬脂酸主要成分為碳?xì)浠衔? 這些碳?xì)浠衔餅榛钚匝跛趸? 生成二氧化碳和水從而將油脂從玻璃表面上除去。

潤滑油和硬脂酸是手機(jī)玻璃表面板最常見的沾污物質(zhì), 污染后玻璃表面對水的接觸角增加, 影響到離子交換。傳統(tǒng)的清洗方法工藝復(fù)雜且有污染。 手機(jī)面板等離子清洗機(jī), 結(jié)構(gòu)簡單, 不需要抽真空, 室溫下即可進(jìn)行清洗, 所產(chǎn)生的激發(fā)態(tài)的氧原子比一般氧原子更具有活性, 可將污染的潤滑油和硬脂酸中的碳?xì)浠衔镞M(jìn)行氧化, 生成二氧化碳和水。等離子體射流同時還具有機(jī)械沖擊力, 起到了刷洗作用, 使玻璃表面污染物迅速脫離玻璃表面, 達(dá)到高效清洗的目的。

玻璃手機(jī)面板在化學(xué)鋼化前的清洗過程是很復(fù)雜的。通過針狀電極預(yù)電離產(chǎn)生的非平衡Ar/O2大氣壓等離子射流用作清洗過程是簡便的。用接觸角儀測定了玻璃面板沾污潤滑油和硬脂酸對水的接觸角。在等離子體射流清洗一段時間后對水的接觸角顯著地降低。掃描電鏡的觀察也驗(yàn)證了清洗的效果。

近年來國際上名牌手機(jī)均以玻璃為面板, 為了提高玻璃面板的強(qiáng)度和硬度, 通常采用化學(xué)鋼化, 而在化學(xué)鋼化前需要進(jìn)行清洗, 如果清洗不良, 則影響增強(qiáng)效果。傳統(tǒng)的清洗方法是先用洗滌劑刷洗, 再用酸液、堿液與有機(jī)溶劑超聲波清洗, 工序復(fù)雜, 費(fèi)時費(fèi)工, 且造成污染。 低溫等離子體空間富集的離子、電子、激發(fā)態(tài)原子、分子及自由基均為活性粒子, 易于和材料表面發(fā)生反應(yīng)因而在滅菌表面改性薄膜沉積刻蝕加工器件清洗等領(lǐng)域得到廣泛應(yīng)用。